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真空镀膜系统

真空镀膜在日常生活中非常常见,就是一个真空系统也比较复杂,现在,我们一起去探索一下真空镀膜的设备秘密吧。

真空镀膜设备不是单一的设备,而是设备组,它是由真空系统、蒸发系统,蒸发辅助系统,加热系统,整机的电气与自动化控制系统共同构成,今天,我们主要讨论的是真空镀膜设备中的真空系统。真空泵油雾过滤器也被运用在真空系统当中,使得真空镀膜工艺排放无污染,节能。




常见的真空镀膜材料


氧化物一氧化硅sio,二氧化硅sio2,二氧化钛tio2,二氧化锆zro2,二氧化铪hfo2,一氧化钛tio,五氧化三钛ti3o5,五氧化二铌nb2o5,真空镀膜报价,五氧化二钽ta2o5,氧化钇y2o3,氧化锌zno等高纯氧化物镀膜材料。

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真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法


制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。真空状态需要抽气系统来控制的,每个抽气口都要同时开动并力度一致,这样就可以控制好抽气的均匀性,如果抽气不均匀,在真空室内的压强就不能均匀了,压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制,太短会造成真空度不够,但太长又浪费资源,不过有真空计的存在,要控制好还是不成问题的。

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